擴(kuò)散硅充油芯體是制造壓力傳感器與變送器的核心芯體,作為一種高性能的敏感元件,可以很方便地進(jìn)行信號(hào)放大處理,裝配成標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出的變送器,廣泛地用于石油、化工、冶金、電力、電子系統(tǒng)、航天航空、醫(yī)療、化工、汽車、機(jī)電設(shè)備等行業(yè)的過程控制。
它是將擴(kuò)散硅壓力敏感元件封裝于316L的材料中,外加壓力通過不銹鋼膜片、內(nèi)部密封的硅油傳遞到敏感的芯片上,敏感元件不直接接觸被測(cè)介質(zhì),形成壓力測(cè)量的全固態(tài)結(jié)構(gòu),所以適用于各種環(huán)境,包括惡劣的腐蝕介質(zhì)環(huán)境。
擴(kuò)散硅充油芯體的技術(shù)特點(diǎn):
1、靈敏度高:
擴(kuò)散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變片高50?80倍,它的滿量程信號(hào)輸出在80-100mv左右。對(duì)接口電路適配性好,應(yīng)用成本相應(yīng)較低。由于它輸入激勵(lì)電壓低,輸出信號(hào)大,且無機(jī)械動(dòng)件損耗,因而分辨率較高。
2、精度高:
擴(kuò)散硅充油芯體的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三位一體,無機(jī)械動(dòng)件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),所以重復(fù)性和遲滯誤差很小。由于硅材料的剛性好,形變小,因而傳感器的線性也非常好,因此綜合表態(tài)精度很高。
3、可靠性高:
擴(kuò)散硅敏感膜片的彈性形變量在微應(yīng)變數(shù)量級(jí),膜片最大位移量在來微米數(shù)量級(jí),且無機(jī)械磨損、無疲勞、無老化。性能穩(wěn)定,可靠性高。
4、頻響高:
由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,一般在50KC。制造過程采用了集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計(jì),使傳感器頻率響應(yīng)很高,使用帶寬可達(dá)零頻至100千赫茲。
5、溫度性能好:
隨著集成工藝技術(shù)進(jìn)步,擴(kuò)散硅敏感膜的四個(gè)電阻一致性得到進(jìn)一步提高,原始的手工補(bǔ)償已被激光調(diào)阻、 計(jì)算機(jī)自動(dòng)修整技術(shù)所替代,傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達(dá)10-5/°C數(shù)量級(jí),工作溫度也大幅度提高。
6、抗電擊穿性能好:
由于采用了特殊材料和裝配工藝,擴(kuò)散硅充油芯體不但可以做到130℃正常使用,在強(qiáng)磁場(chǎng)、高電壓擊穿試驗(yàn)中可抗擊1500V/AC電壓的沖擊。